高速原子力显微术研究进展

作     者：赵剑勇 蔡微 商广义 ZHAO Jian-yong;CAI Wei;SHANG Guang-yi

作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室(筹)北京100191 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院北京100191 

基　　金：科技部973课题(No.2013CB934004) 国家自然科学基金科学仪器基础研究专项(No.10827403) 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2013年第32卷第1期

页      码：81-89页

摘      要：自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具。由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注。本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展。

主 题 词：原子力显微镜 高速原子力显微成像 动态过程观测 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.1000-6281.2013.01.014

馆 藏 号：203201862...