碳化锆镀层的化学气相沉积

作     者：朱钧国 杜春飙 张秉忠 杨冰 彭新立 ZHU Junguo;DU Chunbiao;ZHANG Bingzhong;YANG Bing;PENG Xinli

作者机构：清华大学核能技术设计研究院北京102201 

基　　金：国家"八六三"高技术项目 !(86 3- 6 14- 0 2 ) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2000年第40卷第12期

页      码：59-62页

摘      要：碳化锆是一种重要的高熔点、高强度和耐腐蚀的高温结构材料。为了进一步发展和开发利用高温气冷堆 ,用碳化锆镀层替代碳化硅镀层制备新型的包覆燃料颗粒。采用化学气相沉积的方法 ,选用四氯化锆、丙烯、氢和氩的反应体系 ,在直径为 5 5 m m的流化床沉积炉中制备碳化锆镀层。为控制四氯化锆粉末的流量研制了专用的送粉装置。研究表明碳化锆镀层的密度随沉积温度而变化 ,反应气体中碳锆的原子数比值和氢氩流量比值影响碳化锆镀层性能和结构。在沉积温度 16 0 0℃左右 ,反应气体中碳锆的原子数比值小于0 .5和氢氩流量比值大于 1.0时 。

主 题 词：化学气相沉积 碳化锆 流化床 四氯化锆 高温结构材料 包覆燃料颗粒 镀层密度 镀层相成分 高温气冷堆 

学科分类：0810[工学-土木类] 082703[082703] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0827[工学-食品科学与工程类] 082701[082701] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2000.12.017

馆 藏 号：203203092...