表面缺陷光电传感器

作     者：何振江 

作者机构：重庆大学 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：1980年第1卷第4期

页      码：94-101页

摘      要：本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法,计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方法。最后,介绍了这类传感器的设计要点和及评定性能的方法。

主 题 词：表面缺陷 光电元件 分辨能力 信噪比 正反射 敏感元件 电感式 光学系统 电信号转换器 灵敏度系数 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.1980.04.011

馆 藏 号：203204285...