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一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片

一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片

作     者:罗蓉 徐爱东 王玮 吕苗 Luo Rong;Xu Aidong;Wang Wei;Lü Miao

作者机构:中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 清华大学北京100084 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

出 版 物:《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期:2005年第16卷第Z1期

页      码:88-90页

摘      要:介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.

主 题 词:MEMS 微通道 EPW腐蚀 

学科分类:080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

核心收录:

D O I:10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.028

馆 藏 号:203207718...

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