MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现

作     者：南雪莉 张斌珍 杨昕 崔建利 葛少雷 Nan Xueli;Zhang Binzhen;Yang Xin;Cui Jianli;Ge Shaolei

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(51475438) 山西省研究生创新项目(2016BY124) 山西省回国留学人员科研资助项目(2014-055) 山西省中北大学基金项目(20161348) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2016年第45卷第10期

页      码：113-117页

摘      要：提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计,选择以CPW(共面波导)为传输线,接触式MEMS开关作控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配;其次,通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸;然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真,对比单级衰减和展频二级衰减的S参数,可以发现,在Q值匹配后的电路中,射频信号可以在更宽的频段内保持稳定衰减。最后通过UV-LIGA技术结合氧化钽电阻工艺对衰减器进行了样片试制与结果测试。结果表明,通过Q值匹配可以扩展衰减器的工作频段,为高频信号的稳定衰减提出了一种可行性方案。

主 题 词：MEMS开关 射频衰减器 Q值匹配 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA201645.1020002

馆 藏 号：203207724...