谐振式MEMS磁传感器接口电路设计

作     者：高华磊 徐德辉 刘松 马颖蕾 熊斌 GAO Hua-lei;XU De-hui;LIU Song;MA Ying-lei;XIONG Bin

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51577186 51306200) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2016年第35卷第11期

页      码：87-89,93页

摘      要：介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。

主 题 词：微系统磁传感器 直接数字频率合成器驱动 同步解调 接口电路 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2016)11-0087-03

馆 藏 号：203207978...