PECVD变结构腔室热流场耦合规律研究

作     者：黄尊地 常宁 杨铁牛 周玉林 Huang Zundi;Chang Ning;Yang Tieniu;Zhou Yulin

作者机构：五邑大学轨道交通学院江门529020 五邑大学机电工程学院江门529020 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2011ZX02403-004) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第11期

页      码：1325-1333页

摘      要：在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素。通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法。对比试验结果,依次改变腔室入口流量、出口压力以及承载台温度的大小,分析计算腔室内温度和压力的耦合分布特性。变结构腔室中热流场耦合分布规律,为真空腔室结构设计及参数控制提供理论依据。

主 题 词：真空半导体 热流场耦合 参数控制 变结构腔室 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.19

馆 藏 号：203208325...