基于MEMS方块谐振器的10MHz振荡器

作     者：鲍飞鸿 NGUYEN Tan-loc 李昕熠 潘明争 鲍景富 BAO Feihong;NGUYEN Tan-loc;LI Xinyi;PAN Mingzheng;BAO Jingfu

作者机构：电子科技大学电子工程学院四川成都611731 

基　　金：国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(U1430102) 

出 版 物：《太赫兹科学与电子信息学报》 (Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology)

年 卷 期：2016年第14卷第5期

页      码：820-824页

摘      要：方块谐振器的品质因数(Q)很高,但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统(MEMS)振荡器,需要进一步提高方块谐振器的Q值,降低谐振器的插入损耗。通过支撑梁位置的合理设计可以达到极小的锚点损耗,从而实现非常高的品质因数。采用二阶面切变模态方块谐振器的设计方法,表现出了很多的优越性:Q值更高,动态电阻更小(在间隙为0.25μm时达到82.1?)。基于这种新型谐振器设计出的振荡器实现的相位噪声为:–156 d Bc/Hz@1 k Hz。

主 题 词：微机电系统谐振器 二阶模态 锚点损耗 相位噪声 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11805/TKYDA201605.0820

馆 藏 号：203208345...