基于光纤低相干干涉技术的透镜中心厚度测量方法研究

作     者：刘富国 查学军 杨波 高文烨 郑浩 钟平 Liu Fuguo;Zha Xuejun;Yang Bo;Gao Wenye;Zheng Hao;Zhong Ping

作者机构：东华大学理学院上海201620 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(项目编号:51575099) 上海市自然科学基金资助项目(项目编号:15ZR1401700) 

出 版 物：《应用激光》 (Applied Laser)

年 卷 期：2016年第36卷第5期

页      码：605-610页

摘      要：基于光纤低相干干涉技术的测厚原理,提出了透镜中心厚度检测系统的结构设计;分析了影响检测仪器检测精度的主要因素,并分别从光路、电路设计及信号处理等方面,提出了提高检测系统检测精度的方法;同时将K-means聚类算法应用于多组干涉信号峰值识别和提取,有效提高了系统测量的重复精度。所设计的系统具有结构简单、测量速度快等特点,测量精度优于1μm。

主 题 词：光纤低相干干涉 透镜中心厚度 K-means聚类 信号峰值 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.14128/j.cnki.al.20163605.605

馆 藏 号：203208422...