光学外差干涉法检测激光超声振动

作     者：朱祥 张志伟 张文静 魏玉芸 戴一帆 ZHU Xiang;ZHANG Zhi-wei;ZHANG Wen-jing;WEI Yu-yun;DAI Yi-fan

作者机构：中北大学信息与通信工程学院 中北大学电子测试技术重点实验室 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

出 版 物：《科学技术与工程》 (Science Technology and Engineering)

年 卷 期：2016年第16卷第29期

页      码：252-254,286页

摘      要：激光超声振动是在纳米级别的微弱振动,受环境噪声的影响比较大,且使用传统方法所得到的探测信号强度太低,不利于检测,系统信噪比也比较低。针对这个问题,使用组合透镜对激光进行聚焦,提高探测信号强度,并设计具有较高灵敏度的双光路差分干涉系统,将参考信号与探测信号的强度差控制在理想范围内。实验结果表面,探测信号的强度可达到648m V,与传统方法相比有10倍左右的提升,解调出的振动信号失真度较小,信噪比可达115。该系统对位移的分辨率可达0.03 nm。

主 题 词：外差干涉 激光超声 双光路 组合透镜 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-1815.2016.29.043

馆 藏 号：203208456...