基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

作     者：陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元 TAO Ze;LIU Jia-Min;ZHANG Chuan-Wei;CHEN Xiu-Guo;JIANG Hao;LIU Shi-Yuan

作者机构：华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室湖北武汉430074 武汉颐光科技有限公司湖北武汉430075 

基　　金：基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191) 基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052) 基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278) 纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2016年第35卷第5期

页      码：557-563,583页

摘      要：提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.

主 题 词：偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.11972/j.issn.1001-9014.2016.05.009

馆 藏 号：203208467...