亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

作     者：袁利祥 范正修 殷功杰 邵建达 易葵 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 沈孝良 

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800 中国科学院高能物理研究所北京100039 复旦大学分析测试中心上海200433 

基　　金：国家高技术研究发展计划资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：1995年第44卷第2期

页      码：184-188页

摘      要：简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.

主 题 词：软X射线 多层膜光栅 衍射效率 亚微米周期 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.44.184

馆 藏 号：203208672...