适应复杂环境的真空计

作     者：李琦 冯驹先 董中林 施毅 杨炼 倪小洪 干蜀毅 Li Qi;Feng Juxian;Dong Zhonglin;Shi Yi;Yang Lian;Ni Xiaohong;Gan Shuyi

作者机构：合肥工业大学机械工程学院合肥230009 杭州华达喷射真空设备有限公司杭州311113 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第11期

页      码：1316-1319页

摘      要：采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。

主 题 词：电荷屏蔽 饱和水蒸汽 电容薄膜真空计 单片机控制系统 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.17

馆 藏 号：203208761...