一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计

作     者：杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 YANG Guang-li;FENG Fei;XIONG Bin;WANG Yue-lin

作者机构：中国科学院研究生院北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60407013) 上海应用材料研究与发展基金资助项目(065A04) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2007年第28卷第3期

页      码：327-330,337页

摘      要：提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。

主 题 词：双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 光读出红外成像阵列器件 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2007.03.007

馆 藏 号：203209225...