一种三框架电容式硅微机械陀螺结构设计与仿真

作     者：李锦明 郭慧芳 刘俊 LI Jin-ming;GUO Hui-fang;LIU Jun

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：258-260页

摘      要：为了解决传统双框架陀螺结构,驱动和检测采用同一质量块,以及加工等所引起的误差,提出了一种三框架的硅微机械陀螺结构。此结构由三个框架组成,其中外框架为驱动框架,在x轴方向驱动,内框架为检测框架,当在z轴方向有角速度输入时,在哥氏力的作用下,在y轴方向检测。中间框架可随外框架或内框架一起运动。这种结构保证了当受到静电力驱动时,检测框架完全静止,同时,当检测框架检测时,驱动框架完全静止,从结构本身上消除了机械耦合现象,同时兼顾了陀螺的灵敏度和带宽的要求。该陀螺结构简单,采用体硅加工工艺,可进行批量加工。文中描述了该陀螺的结构设计特点及仿真结果。

主 题 词：mems 陀螺 电容 框架 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.018

馆 藏 号：203209505...