大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究

作     者：葛洪 张晓丹 岳强 张发荣 赵影 赵颖 

作者机构：南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)天津300071 天津新华职工大学天津300040 

基　　金：国家重点基础研究发展计划项目(No.2006CB202602和No.2006CB202603) 国家自然科学基金(No.60506003) 南开大学博士启动基金(No.J02031) 科技部国际合作重点项目(No.2006DFA62390) 天津科技支撑项目(No.08ZCKFGX03500) 国家高技术研究发展计划(No.2007AA05Z436) 教育部新世纪人才计划(No.NCET-05-0227)资助的课题 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2008年第28卷第4期

页      码：281-285页

摘      要：本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性。本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导。

主 题 词：多点功率馈入 甚高频等离子体增强化学气相沉积 电势驻波效应 电报效应 

学科分类：0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 070204[070204] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2008.04.018

馆 藏 号：203209552...