低噪声硅微陀螺敏感电容电荷读出电路设计

作     者：卢月娟 徐大诚 郭述文 LU Yue-juan;XU Da-cheng;GUO Shu-wen

作者机构：苏州大学微纳传感技术研究中心江苏苏州215006 

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(61434003) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第1期

页      码：105-107,114页

摘      要：硅微陀螺敏感电容电荷读出电路性能的优劣直接决定着陀螺仪测量精度。通过对敏感电容读出电路的建模分析,采用差分调制技术实现了低噪声信号输出,从电路组成、参数设置、PCB布局布线等多方面综合考虑,优化设计了能抑制低频噪声以及高灵敏度电荷读出电路。实验结果表明:该电路输出噪声为槡-116.24 d BV/Hz^(1/2),敏感电容检测分辨率可达1.16×10-19F/Hz^(1/2)。

主 题 词：硅微陀螺 电荷读出电路 差分调制 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)01-0105-03

馆 藏 号：203209890...