多晶硅生产过程中硅渣浆的处理

作     者：张春伟 田新 Zhang Chun-wei Tian Xin

作者机构：江苏中能硅业科技发展有限公司江苏徐州221004 江苏协鑫特种材料科技有限公司江苏徐州221004 江苏鑫华半导体材料科技有限公司江苏徐州221004 

出 版 物：《化工设计通讯》 (Chemical Engineering Design Communications)

年 卷 期：2016年第42卷第8期

页      码：80-80,98页

摘      要：首先探讨了多晶硅生产过程中硅浆渣的处理难点,并对当前国内外多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺进行研究,最后展望了硅浆渣处理工艺的发展方向,为多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺的设计提供资料参考。

主 题 词：多晶硅 生产过程 硅浆渣 处理研究 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-6490.2016.08.064

馆 藏 号：203209935...