一种单腔式微型隔膜泵的结构设计及流量分析

作     者：何云鹏 郅静刚 臧辰鑫 蔺增 HE Yun-peng ZHI Jing-gang ZANG Chen-xin LIN Zeng

作者机构：东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 

基　　金：国家级大学生创新创业训练计划资助项目(项目编号:201510145054) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2016年第53卷第6期

页      码：12-14页

摘      要：针对市场的实际需求,设计研制了一台流量为200mL/min的单腔式微型隔膜泵,文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成,利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜泵的出气速率随电压成线性关系,所设计的微型隔膜泵流量控制稳定,可靠性较高。

主 题 词：微型隔膜泵 气体采样 抽速测试 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2016.06.04

馆 藏 号：203209949...