FTO薄膜制备技术研究进展

作     者：郁建元 王立坤 王丽 宋玉嘉 赵洪力 YU Jian-yuan;WANG Li-kun;WANG Li;SONG Yu-jia;ZHAO Hong-li

作者机构：燕山大学材料科学与工程学院秦皇岛066004 唐山学院环境与化学工程系唐山063000 

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB0303902-02) 河北省应用基础研究计划重点基础研究(13961106D) 唐山市科技支撑计划项目(15110205a) 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2016年第45卷第11期

页      码：2645-2649页

摘      要：本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望。

主 题 词：FTO薄膜 制备方法 进展 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2016.11.014

馆 藏 号：203210246...