大口径非球面镜检测中激光跟踪仪测角误差研究

作     者：刘力 陈新东 熊玲 张峰 薛栋林 Liu Li Chen Xindong Xiong Ling Zhang Feng Xue Donglin

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金(61505205) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2016年第43卷第11期

页      码：154-164页

摘      要：为了满足大口径反射镜研磨阶段的面形检测需求,分析了激光跟踪仪测角误差的来源,提出了一种基于S多项式拟合的矫正测角误差的方法,该矫正方法能有效克服采样位置误差和随机误差带来的影响。针对不同频段测角误差,提出母线和米字格采样法,其中母线采样法对10%以内的标定实验随机误差有较好的抑制作用。矫正方法的可行性得以验证,从而为进一步实验提供了理论基础。

主 题 词：光学设计 激光跟踪仪 角度误差补偿 大口径非球面镜 多项式拟合 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL201643.1104003

馆 藏 号：203210519...