电子回旋共振离子源的研制及应用

作     者：刘仲阳 孙官清 张大忠 陈剑宣 LIU Zhongyang;SUN Guanqing;ZHANG Dazhong;CHEN Jianxuan

作者机构：四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室成都610064 

基　　金：国防科工委资助 

出 版 物：《核技术》 (Nuclear Techniques)

年 卷 期：1999年第22卷第6期

页      码：343-347页

摘      要：描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，利用合适的三层微波输入窗（石英、Al2O3rap瓷和BN）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（87．5mT）和约束等离子的轴向磁场。利用本源离解CH4—NH3制备成三种C：N膜，经真空退火后，其中两种C：N膜裂解成不同粗细的团簇纤维。

主 题 词：ECR 离子源 微波输入窗 C:N团簇纤维 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-3219.1999.06.005

馆 藏 号：203210567...