硅微陀螺带通ΣΔ闭环检测环路设计

作     者：祝云峰 吴志强 朱欣华 苏岩 ZHU Yunfeng;WU Zhiqiang;ZHU Xinhua;SU Yan?

作者机构：南京理工大学MEMS惯性研究中心南京210094 

基　　金：国家自然科学基金项目(61301214) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2017年第30卷第1期

页      码：88-93页

摘      要：本文研究了SDM调制器在陀螺闭环检测中的应用,主要针对其闭环检测的结构设计和参数获取作了相应的研究和阐述。硅微机械陀螺敏感模态为二阶模态,基于SDM调制器的设计原理,结合DSToolbox来设计整个闭环检测电路,得到闭环检测电路的结构和参数。最终仿真得到的闭环检测系统的信噪比达到了106 d B。在量程为±200°/s,带宽为200 Hz时,分辨率可以达到0.001°/s。

主 题 词：硅微陀螺仪 闭环检测 sigma delta调制器 参数获取 信噪比 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2017.01.017

馆 藏 号：203210945...