基于近似模型的y轴微机械陀螺系统级优化

作     者：吕湘连 何洋 L(U) Xianglian;HE Yang

作者机构：西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室西安710072 

基　　金：西北工业大学基础研究基金项目(JC201113) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2012年第25卷第3期

页      码：329-332页

摘      要：提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化。该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题。所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频率fz分别为3 074 Hz和2 998 Hz,两者之间相差7 6 Hz,较好的实现了模态匹配,且都在3 000 Hz的设计要求附近,约束条件也得到了满足。该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考。

主 题 词：MEMS 系统级 近似模型 优化 微机械陀螺 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2012.03.010

馆 藏 号：203211354...