激光辅助阳极键合方法及实验研究

作     者：李星 陈立国 王阳俊 Li Xing;Chen Liguo;Wang Yangjun

作者机构：苏州大学机器人与微系统研究中心苏州215021 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(2013YQ470767) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2017年第15卷第1期

页      码：67-71页

摘      要：为了提高MEMS微器件成品的封装质量和效率,本文自主设计了新型的激光辅助阳极键合技术系统,并将其运用于硼硅玻璃BF33与硅的键合实验,成功实现了硅与玻璃在低功率下局部区域的完好键合.采用扫描电子显微镜对键合样本界面的微观结构进行分析,结果表明:在玻璃/硅的键合界面有明显的过渡层生成.使用能谱仪测定玻璃基体、过渡层以及硅层所含的化学元素种类及其质量分数,通过对比分析认为:激光在键合层的致热温度和界面区的强电场导致硼硅玻璃耗尽层中的氧负离子向键合界面迁移扩散,并与硅发生氧化反应形成中间过渡层,而该界面过渡层的形成是实现玻璃/硅键合的基本条件.该种新型键合技术操作简单、速度快、灵活性高,可以针对不同键合材料实时调整激光功率、行走速度、扫描时间等参数,可广泛应用于MEMS封装器件中硅与玻璃的键合.

主 题 词：激光辅助阳极键合 硼硅玻璃 硅 过渡层 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080202[080202] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0803[工学-仪器类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.13494/j.npe.20160058

馆 藏 号：203215142...