基于遗传算法的透射光谱法测量薄膜光学参数

作     者：周伟 贾宏志 涂建坤 

作者机构：上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海200093 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海200093 上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 上海电缆研究所上海200093 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：2016年第38卷第6期

页      码：539-543页

摘      要：基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数,并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数。

主 题 词：透射光谱 薄膜光学参数 遗传算法 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-5630.2016.06.013

馆 藏 号：203215463...