一种微型探针台的设计和应用

作     者：顾吉 吴建伟 GU Ji WU Jianwei

作者机构：东南大学南京211189 中国电子科技集团公司第58研究所江苏无锡214072 

出 版 物：《电子与封装》 (Electronics & Packaging)

年 卷 期：2017年第17卷第1期

页      码：41-46页

摘      要：介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照试验中。固定在探针台上的芯片可以与探针台一起放置于空间任意位置,方便将芯片对准辐照源中心。该探针台也可放置在高低温箱中,用于芯片的三温测试。加上显微镜固定采用多角度云台支架设计,支持全方位观察,可以使得观察更加立体直观。探针卡采用多探针结构,可实现多路测试,并且探卡及其信号连接线采用了低漏电及EMI设计,测试精度可以达到0.1 n A以下,配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干扰能力,其测试数据更加精确。

主 题 词：探针台 晶圆 辐照 高低温 测试系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.16257/j.cnki.1681-1070.2017.0012

馆 藏 号：203215487...