MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

作     者：陈俊光 谷专元 何春华 黄钦文 来萍 恩云飞 CHEN Jun-guang GU Zhuan-yuan HE Chun-hua HUANG Qin-wen LAI Ping EN Yun-fei

作者机构：工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室广东广州510610 广东工业大学自动化学院广东广州510006 华南理工大学电子与信息学院广东广州510640 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第3期

页      码：1-5,13页

摘      要：针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。

主 题 词：微机电系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)03-0001-05

馆 藏 号：203215518...