干涉条纹相位锁定系统

作     者：鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣 LU Sen;YANG Kai-ming;ZHU Yu;WANG Lei-jie;ZHANG Ming

作者机构：清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 

基　　金：清华大学摩擦学国家重点实验室基金资助项目(No.SKLT12C01) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2017年第25卷第1期

页      码：1-7页

摘      要：干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值。针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统。利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能。实验结果表明,在400Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0~5Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求。

主 题 词：干涉曝光 相位锁定 曝光对比度 声光调制器 RTX 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/OPE.20172501.0001

馆 藏 号：203215677...