MEMS镜片式眼压传感器设计

作     者：胡胜新 徐德辉 熊斌 王跃林 HU Sheng-xin XU De-hui XIONG Bin WANG Yue-lin

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室上海200050 上海科技大学信息学院上海200031 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2017年第36卷第3期

页      码：76-79页

摘      要：眼压(IOP)24 h的波动参数是眼科的一个重要的基础指标,目前传统的单个时间点的眼压测量无法有效地实现眼压的持续检测。基于眼压大小与眼角膜曲率的相关性,结合微机电系统(MEMS)微加工工艺和压模工艺,设计了一种基于电感的镜片式眼压传感器,在体外猪眼的实验结果证明了此传感器在眼压一定范围内(12~27 mm Hg)可以准确地反映眼压波动情况。

主 题 词：眼压 传感器 持续监测 微机电系统(MEMS) 压模 镜片式 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2017)03-0076-04

馆 藏 号：203215836...