低功耗合金薄膜型氢气传感器热设计与研究

作     者：张龙赐 颜志红 曹勇全 ZHANG Long-ci;YAN Zhi-hong;CAO Yong-quan

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所薄膜传感技术湖南省国防重点实验室湖南长沙410111 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2017年第1期

页      码：23-25,37页

摘      要：基于氢敏材料检测氢气浓度的工作原理,针对合金薄膜型氢气传感器加热电阻小、达到最佳工作温度时间长等特点,设计了一种低功耗合金薄膜氢气传感器。利用有限元分析软件ANSYS Workbench对该结构进行了热分析,结果表明,该种结构在加热功耗为0.2 W,总功耗为0.8 W时,能够短时间内将该氢气传感器加热到最佳工作温度。根据MEMS技术制备了合金薄膜型氢气传感器,实验结果与理论分析具有很好的一致性。该研究为薄膜型氢气传感器的低功耗设计与微小型封装提供了重要依据。

主 题 词：氢气传感器 热分析 温度标定 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2017.01.007

馆 藏 号：203216028...