半导体厂房空调、净化系统设计探讨

作     者：吕纯 

作者机构：上海先进半导制造股份有限公司上海200233 

出 版 物：《冶金丛刊》 (Metallurgical Collections)

年 卷 期：2017年第1期

页      码：216-,220页

摘      要：伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。

主 题 词：半导体厂房 空调净化系统 设计 

学科分类：08[工学] 081404[081404] 0814[工学-地质类] 

D　O　I：10.19537/j.cnki.2096-2789.2017.01.468

馆 藏 号：203216080...