精密气浮工作台动态特性仿真与优化

作     者：文明 姚勇 何康昊 陈华明 杨雷 邓立 李佩龙 姜飞 WEN Ming;YAO Yong;HE Kanghao;CHEN Huaming;YANG Lei;DENG Li;LI Peilong;JIANG Fei

作者机构：中国工程物理研究院材料研究所四川绵阳621900 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2017年第45卷第2期

页      码：20-24页

摘      要：为提高精密气浮工作台的工作性能,在分析气浮轴承承载特性的基础上,对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型,创建模型的设计变量与目标变量,编写目标变量评价程序,使用Isight集成了优化仿真模型,优化了设计变量,提高了工作台的稳定性,缩短了工作台的收敛时间。优化结果表明:对工作台的优化设计改善了工作台的稳定性,减小了工作台在步进扫描过程中的收敛时间与振幅。

主 题 词：精密气浮工作台 动态特性 参数优化 

学科分类：1305[艺术学-设计学类] 13[艺术学] 08[工学] 080203[080203] 081304[081304] 0802[工学-机械学] 0813[工学-化工与制药类] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3881.2017.02.006

馆 藏 号：203216344...