谐振式微加速度计设计与加工误差分析

作     者：何高法 唐一科 何晓平 吴英 HE Gao-fa;TANG Yi-ke;HE Xiao-ping;WU Ying

作者机构：重庆大学机械工程学院重庆400030 重庆科技学院机械系重庆400050 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第1期

页      码：10-12页

摘      要：为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度,设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构,从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差,设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力,有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响。分析了形状加工误差对加速度计性能的影响,为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障。

主 题 词：微杠杆 误差分析 加速度计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2009.01.004

馆 藏 号：203217021...