微机械振动环陀螺(英文)

作     者：陈李 陈德勇 王军波 CHEN Li;CHEN De-yong;WANG Jun-bo

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 

基　　金：Supported by the National Natural Science Foundation of China( Grant No .60772018 and No .60674112) the National Hi-Tech Research and development Program of China(863 Program)(Grant No .2007AA4Z318) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第17卷第6期

页      码：1344-1349页

摘      要：为了减小振动环驱动模态和检测模态的频率差从而提高陀螺性能,提出了一种采用电磁驱动、电磁检测的全对称振动环陀螺结构。采用MEMS体硅工艺完成该微机械振动环陀螺的加工,其结构在保持镜像对称的同时,还保持了中心对称,因此整个结构高度对称,有利于减小模态频率差。为有效跟踪陀螺驱动模态的谐振频率并稳定驱动模态的幅值,设计了闭环驱动控制电路。该电路由低噪声前置放大器、相位调整环节以及自动增益放大器( VGA)组成。测试结果表明,该陀螺两个模态频率差为0.27 Hz ,实现了频率较好的匹配。在±200°/s ,测得陀螺灵敏度为8.9 mV/(°/s) ,分辨力为0.05°/s ,非线性度为0.23 %。

主 题 词：微机械陀螺 振动环陀螺 闭环控制 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081105[081105] 0805[工学-能源动力学] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.025

馆 藏 号：203217540...