激光防护中VO_2薄膜的最佳膜厚计算

作     者：徐凯 路远 凌永顺 乔亚 唐聪 XU Kai;LU Yuan;LING Yong-shun;QIAO Ya;TANG Cong

作者机构：电子工程学院安徽合肥230037 红外与低温等离子体安徽省重点实验室安徽合肥230037 

基　　金：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金项目(No.SKL2013ZR03)资助 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2015年第45卷第8期

页      码：959-963页

摘      要：为实现 VO2薄膜在激光防护应用中的最佳膜厚设计，采用椭圆偏振法测试分别得到 Si基底 VO2薄膜低温半导体态与高温金属态的光学常数，基于具有吸收特性薄膜的透射率计算理论，结合 VO2薄膜用于激光防护的需求，计算得到适用于激光防护的最佳膜厚。为验证计算方法准确性，根据入射激光波长10．6μm 为例计算的最佳膜厚，采用直流磁控溅射法在 Si 基底上制备具有相应膜厚的薄膜，利用傅里叶变换红外光谱测试分析了该薄膜的红外透射率相变特性，结果表明其红外透射率具有明显相变特性，3～5μm 波段的红外透射率对比值达到99％，λ＝10．6μm 处相变前后的红外透射率分别为67．2％、4．2％，与理论计算透射率66．4％、3．3％误差较小，实测透射率对比值为93．8％，与理论预期95％基本相符，表明理论计算方法具有一定的准确性，根据最佳膜厚算法设计的 VO2薄膜适合应用于红外探测器的激光防护研究。

主 题 词：二氧化钒薄膜 激光防护 最佳膜厚 磁控溅射法 红外相变特性 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5078.2015.08.018

馆 藏 号：203217825...