面投影微立体光刻系统的开发和研究

作     者：周庚侠 班书宝 吴东岷 顾济华 ZHOU Geng-xia;BAN Shu-bao;WU Dong-min;GU Ji-hua

作者机构：苏州大学物理科学与技术学院苏州215006 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州215125 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(G2009CB929300) 国家自然科学基金委员会青年科学基金项目资助(60807039/F050105) 

出 版 物：《制造业自动化》 (Manufacturing Automation)

年 卷 期：2011年第33卷第2期

页      码：129-132页

摘      要：面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。

主 题 词：面投影微立体光刻 复合材料 MTF测量 树脂固化曲线 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-0134.2011.44

馆 藏 号：203218007...