用于晶圆刷洗的同心卡接机构设计

作     者：陶利权 熊朋 蒲继祖 李嘉浪 费玖海 TAO Liquan;XIONG Peng;PU Jizu;LI Jialang;FEI Jiuhai

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2017年第46卷第1期

页      码：53-55页

摘      要：在CMP后清洗工艺过程中,往往需要对机刷进行快速更换。针对以上需求,设计了一种用于晶圆刷洗的同心卡接机构,很好地解决了机刷更换过程同心度存在偏差及更换不便的问题,改善了晶圆表面清洗的效果。

主 题 词：CMP后清洗 晶圆刷洗 同心卡接机构 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.015

馆 藏 号：203218073...