基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

作     者：侯典心 路远 宋福印 HOU Dianxin LU Yuan SONG Fuyin

作者机构：安徽合肥电子工程学院安徽合肥230037 红外与低温等离子体安徽省重点实验室安徽合肥230037 脉冲功率激光技术国家重点实验室安徽合肥230037 

基　　金：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目(SKL2013ZR03) 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2017年第39卷第3期

页      码：243-249页

摘      要：为实现对VO_2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率T与薄膜厚度d、折射率n以及消光系数k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数。最后采用Matlab编程方法对低温态、高温态VO_2薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合,得到折射率和消光系数等VO_2薄膜光学常数的拟合曲线。结果表明:拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合。采用全光谱拟合方法得到的光学常数能较准确的对VO_2薄膜进行描述,为最佳膜厚设计提供了依据。此外,为更简便地描述VO_2薄膜的光学常数,本文还引入了Cauchy色散模型方程,对全光谱拟合方法得到的中远红外波段(2.5~15mm)的光学常数结果进行了拟合。

主 题 词：薄膜光学 VO2薄膜 全光谱拟合 单纯形法 Cauchy色散模型 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203218683...