一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计

作     者：康杰 谭晓兰 张久超 KANG Jie;TAN Xiao-lan;ZHANG Jiu-chao

作者机构：北方工业大学机械与材料工程学院北京100144 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51375017) 

出 版 物：《机械设计》 (Journal of Machine Design)

年 卷 期：2017年第34卷第3期

页      码：77-80页

摘      要：通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进行稳健设计。对结果分析表明,稳健设计结果对噪声因素的误差是不敏感的。

主 题 词：模糊模型 稳健设计 微传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13841/j.cnki.jxsj.2017.03.014

馆 藏 号：203218683...