用球面共焦Fabry-Perot干涉仪测量微振动

作     者：杨勇 陈峰 胡小唐 王建林 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家实验室天津300072 北京化工大学信息科学与技术工程学院北京100029 

基　　金：天津市自然科学基金资助项目 (96360 981 1 ) 

出 版 物：《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 (Journal of Tianjin University：Science and Technology)

年 卷 期：2001年第34卷第5期

页      码：615-618页

摘      要：介绍一种光学非接触测量超微振动的方法 ,利用球面共焦 Fabry- Perot干涉仪设计了微振动测量系统 .与传统的测量方法相比 ,该系统具有非接触、高灵敏度、高频响、高空间分辨率等特点 ,便于实现连续、快速、自动化检测 ;根据实验要求 ,设计了腔长 0 .5 m、带宽5 .9MHz的 Fabry- Perot干涉仪 ,并组成测量系统 ;通过实验 ,检测出 5 MHz脉冲压电换能器产生的微振动波形 ;为了克服环境噪声对测量系统的影响 ,采用自动稳腔长的方法 。

主 题 词：球面共焦Fabry-Perot干涉仪 微振动 稳腔长 非接触测量 测量系统 工人原理 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0493-2137.2001.05.012

馆 藏 号：203218961...