氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究

作     者：杨英花 余隽 吴昊 李中洲 唐祯安 YANG Yinghua;YU Jun;WU Hao;LI Zhongzhou;TANG Zhenan

作者机构：大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室辽宁大连116024 

基　　金：硅基纳米多级复合结构集成气体传感器项目(61131004) 基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性项目(61274076) 中国工程物理研究院科学技术发展基项目(2012A0403018) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2017年第30卷第4期

页      码：496-499页

摘      要：喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250℃时,打印的SnO_2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10^(-6),响应和恢复时间均在3 s左右。

主 题 词：喷墨打印 气体传感器 微热板 气敏薄膜 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.002

馆 藏 号：203223521...