动态干涉条纹的图象检测

作     者：秦绮雯 裘继红 

作者机构：中国计量学院光学热工计量系 

基　　金：浙江省自然科学基金 

出 版 物：《中国计量学院学报》 (Journal of China Jiliang University)

年 卷 期：1992年第3卷第2期

页      码：45-51页

摘      要：本文介绍了利用CCD 固体摄象传感器和386微机动态测量 F—P 多光束干涉条纹的方法,介绍了实现动态检测的原理和软件设计思想,利用此原理,提出了一种微小位移的高精度动态测量方法,采用无畸变摄象物镜和精密伺服系统,相应微小位移的测试精度可达3nm—6nm(约λ/100的数量级)。

主 题 词：干涉条纹 动态图象测量 微小位移测量 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

馆 藏 号：203223599...