基于MS3110的微电容读出电路设计

作     者：郑雨薇 朱蕴璞 ZHENG Yuwei;ZHU Yunpu

作者机构：南京理工大学机械工程学院江苏南京210094 

出 版 物：《机械制造与自动化》 (Machine Building & Automation)

年 卷 期：2017年第46卷第2期

页      码：174-176页

摘      要：电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究,了解其使用性能和参数设置方法,在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口,实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明,设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。

主 题 词：微电容读出电路 MS3110 ADS1255 AVR单片机 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2017.00.051

馆 藏 号：203224119...