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探针卡在芯片产业化中的应用分析

探针卡在芯片产业化中的应用分析

作     者:杨跃胜 武岳山 YANG Yue-sheng;WU Yue-shan

作者机构:深圳市远望谷信息技术股份有限公司深圳518057 西北大学信息科学与技术学院陕西西安710127 

出 版 物:《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期:2017年第26卷第4期

页      码:58-61,75页

摘      要:芯片产业化过程中,涉及到大量探针卡的应用,探针卡对芯片测试非常重要;根据不同的标准对探针及探针卡进行分类;针对不同应用环境,分析了探针卡的选取方法;最后给出了探针卡的存放和使用相关规范,对探针卡的设计、加工及芯片的中测测试应用具有一定的参考作用。

主 题 词:探针 探针测试卡 芯片测试 wafer 

学科分类:080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D O I:10.3969/j.issn.1681-5289.2017.04.012

馆 藏 号:203224711...

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