软X射线位相型金透射光栅的设计与制作

作     者：邱克强 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军 Qiu Ke-Qiang;Xu Xiang-Dong;Liu Ying;Hong Yi-Lin;Fu Shao-Jun

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:50375149 10776030)资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2008年第57卷第10期

页      码：6329-6334页

摘      要：根据衍射光栅的标量理论,计算并讨论了金透射光栅在软X波段衍射效率对光栅厚度和占宽比的依赖关系.结果表明,选择合适的光栅槽深和占宽比,高达21.9%的衍射效率可能被获得,远高于振幅型光栅的+1级衍射效率10.14%.通过全息光刻与电镀转移技术制作的位相型金透射光栅由300 nm的聚酰亚胺薄膜支撑,光栅槽深200 nm,占宽比为0.55,周期为1μm,面积为20 mm×5 mm.在国家同步辐射装置上,测得其+1级透射衍射效率在波长λ=7.425 nm时获得最大值,约为16%.

主 题 词：透射位相光栅 全息光刻 电镀 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.57.6329

馆 藏 号：203225037...