无导轨高精度位移平台的结构设计

作     者：高云国 张倩 史亚莉 姜伟伟 彭岩 GAO Yun-guo;ZHANG Qian;SHI Ya-li;JIANG Wei-wei;PENG Yan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039 

基　　金：中科院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目(No.061X20C060) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第17卷第9期

页      码：2199-2205页

摘      要：为了完善高精度位移平台性能,提高平台位移直线度和定位精度,研制了制造成本较低的高精度无导轨位移平台机构。根据平行四边形和比例杆运动原理,设计了无导轨平台结构。介绍了平台的工作原理,并对其运动部件进行了有限元分析。用自准直平行光管和高精度测量头分别检测了平台的位移直线度和升、降位移误差,实验结果得出,该机构的位移直线度误差小于1",升、降位移误差小于0.02 mm,达到了平台设计要求。应用结果表明,该平台安装方便、体积小、易于养护,在有无重力的条件下均能正常使用,可应用于航天或其它领域的高精度位移系统中。

主 题 词：导轨 位移平台 平行四边形 比例杆驱动结构 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2009.09.019

馆 藏 号：203225523...