多功能真空校准装置

作     者：彭光东 李民 陈丽 李宏宇 干昱颋 谢文绚 PENG Guang-dong;LI Min;CHEN Li;LI Hong-yu;GAN Yu-ting;XIE Wen-xuan

作者机构：上海卫星装备研究所上海200240 上海空间环境模拟与验证工程技术研究中心上海200240 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2017年第54卷第2期

页      码：48-51页

摘      要：为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa^1×10^(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10^(-5)~5×10^(-9)Pa·m^3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。

主 题 词：真空规 校准 漏孔 比对法 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.12

馆 藏 号：203225604...