双螺杆真空泵齿顶圆周间隙泄漏模拟计算

作     者：施毅 谭昱全 董中林 李琦 杨炼 倪小洪 干蜀毅 SHI Yi;TAN Yu-quan;Dong Zhong-lin;LI Qi;YANG Lian;NI Xiao-hong;GAN Shu-yi

作者机构：合肥工业大学真空科技与装备研究所安徽合肥230009 杭州华达喷射真空设备有限公司浙江杭州311113 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2017年第54卷第2期

页      码：6-9页

摘      要：在研究螺杆泵各项间隙构成原理的基础上,通过CFX软件对同一级齿顶圆周间隙模型进行模拟计算,分析了流体温度、间隙高度、泄露通道宽度对泄漏量的影响。研究结果表明:流体温度对通过泄漏通道的质量流量影响显著,且排气级气体温度不宜过低;螺杆泵稳定运行时的最大齿顶圆周间隙高度应有一定的限制;在相同条件下泄漏量随泄露通道宽度增加而减小。计算结果对双螺杆真空泵腔内间隙的设计计算和优化提供了模拟计算方法和理论基础,对提高双螺杆真空泵的抽气性能有着积极的意义。

主 题 词：螺杆真空泵 齿顶圆周间隙 泄漏 CFX 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.02

馆 藏 号：203225901...