钼圆片电镀钌挂具的设计

作     者：张一雯 郭昭华 王永旺 陈东 

作者机构：神华准能资源综合开发有限公司研发中心内蒙古鄂尔多斯010300 

出 版 物：《电镀与涂饰》 (Electroplating & Finishing)

年 卷 期：2017年第36卷第8期

页      码：419-421页

摘      要：针对钼圆片镀钌挂具不合理设计所产生的挂点、对电流产生遮挡以及边缘效应明显等问题,采用辅助阴极的方法加以改进,从而改善了镀层的均匀性,并通过一具多挂提高了生产效率。

主 题 词：钼圆片 镀钌 挂具 设计 镀层均匀性 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.19289/j.1004-227x.2017.08.007

馆 藏 号：203230367...